Vacuum UV (VUV) 램프는 일반적인 자외선(UV)보다 파장이 훨씬 짧고 에너지가 높은 진공 자외선(100nm~200nm) 영역의 빛을 방출하는 특수 램프입니다. 

이 파장대의 빛은 공기 중의 산소나 다른 가스에 의해 쉽게 흡수되기 때문에, 빛이 전달되려면 반드시 진공 또는 질소/수소와 같은 특정 비활성 가스 환경이 필요합니다. 

자외선(UV)은 파장에 따라 여러 대역으로 나뉘며, 각기 고유한 특성과 용도를 가집니다. 특히 VUV와 EUV는 파장이 매우 짧아 특수한 환경에서 사용됩니다

EUV는 극자외선, VUV는 진공자외선으로 불립니다.

이아이라이팅은 다양한 UV 파장 영역의 개발 솔루션을 보유하고 있으며, 고객의 요청에 따라 개발이 가능합니다.